真空等離子清洗設備
產品描述
JL-FM系列PCB線路板等離子機
產品編號：JL-FM系列
產品規格： 線路板等離子清洗潔
產品用途：等離子蝕刻，去膠渣，SMT，邦定,字符噴印前處理
PCB等離子清洗機產品參數
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整機尺寸(W*D*H) |
1700×1300×1800 mm |
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腔體尺寸(W*D*H) |
1025*850*948 mm |
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腔體材料 |
進口316不鏽鋼 |
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等離子發生器 |
10KW 40kHZ Camdel 美國 |
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抽風系統 |
≥2立方/分鐘，中央尾氣處理管道即可 |
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電極板數量 |
15層水平分布 |
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處理層數 |
15層 |
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單層處理 麵積 |
1030（W）*750（D）mm （可定製） |
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單次處理時間 |
3-30分鐘不等（根據產品特征，時間設定不同） |
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工作真空度 |
10～60Pa （可根據要求設定，可恆定真空度） |
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泵可抽極限壓力 |
≤1Pa |
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抽真空時間 |
90s以內 |
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破真空時間 |
≤15s |
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工藝氣體 |
CF4 ;O2;N2;Ar;H2 |
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供氣方式 |
高壓瓶裝氣體14MPa，減壓至0.1-0.3MPa |
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流量計調節範圍 |
0-2000ml/min/全自動調節 |
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溫度控制調節範圍 |
3匹速冷，30-85℃可調 |
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真空泵系統 |
1級機械旋片真空泵+2級羅茨泵 |
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真空測定系統 |
日本愛發科皮拉尼高精密電阻式真空計 |
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真空供氣系統 |
Ф6全不鏽鋼管+不鏽鋼鎖套管路 |
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真空排氣系統 |
全不鏽鋼管路+波紋管+2級過濾裝置 |
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破真空系統 |
真空角閥 |
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PLC自動控制 |
三菱 |
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人機工控系統 |
MCGS |
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變頻控制系統 |
臺灣台達，PID閉環控制，真空度可維持 |
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機台溫控系統 |
冰水模溫一體機，採用內部獨立中通冰水循環冷卻系統 |
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輸入氣壓監測系統 |
2路 日本SMC自動報警氣壓表 |
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氣體計量系統 |
SevenStar MFC氣體質量流量計精確控制流量 |
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冰水機（標配） |
/ |
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真空機組（標配） |
300m³/H |
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系統重量 |
500KG |
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電源 |
AC380V，50/60Hz，三相五線100A 15KW |
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壓縮空氣要求 |
0.6～0.8MPa |
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循環冷卻水用量 |
/ |
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系統環境溫濕度要求 |
溫度：5℃~+25℃ 相對濕度：<80%（25℃） |
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環境壓力 |
1.013×105pa |
設備工作原理
PCB等離子清洗機主要是在密閉的真空反應腔體裡面，通入特殊的反應氣體，通過等離子體發生裝置和獨特的工藝控制系統，使等離子體與PCB線路板材料發生蝕刻，活化和改性作用，從而達到指定的工藝要求。
該設備主要由真空腔體及高頻等離子電源、抽真空系統、充氣系統、自動控制系統等部分組成。工作基本原理是在真空狀態下，利用真空泵將工作室進行抽真空達到0.15-0.3mbar的真空度，再在高頻發生器作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質第四態），然後利用等離子體對工件進行表面處理。等離子態顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據不同氣體發出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和處理的表面發生作用，得到了表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、蝕刻等各種表面改性。
應用領域
PCB等離子清洗機設備是專門為印刷電路板(PCB)行業研發的設備，以滿足高到低的PCB製造生產需求。目前廣氾應用於：
FPC/PCB 孔壁凹蝕 / 去除孔壁樹脂鑽污
PTFE&聚四氟乙烯材料的活化處理
碳化物去除
PCB板內層預處理
化學沉金/電鍍前手指、焊盤表面清潔
SMT前焊盤表面清潔(cleaning)
PCB板BGA封裝前表面清洗
去除電鍍夾膜
產品圖片
